醫用氧氣除在純度上有一定的要求（對深冷法要求氧純度為99.5%）外，還要求水分含量不大于-43℃（露點溫度）二氧化碳的體積分數、一氧化碳、氣態酸、堿含量，臭氧及其他氣態氧化劑等的含量也要符合GB8982-1998的要求。因此，一般的工業氧不符合醫用氧的要求，即不能用一般的氧壓機及氧氣瓶來充灌醫用氧。

采用膜式壓縮機，是保證氧氣質量的措施，采用液氧內壓縮流程是生產醫用氧的一種既安全、又不受污染的流程。即從主冷抽取液氧，經過冷后在柱塞式液氧泵壓縮至16MPa，再在氧熱交換器中回收冷量氣化成高壓氣氧。不少氧氣廠對50m3/h、150m3/h制氧機作了這種改造。主要反映在以下幾方面：

1）氧熱交換器是在高壓下工作的，在結構上需能承受高壓。此外，由于液氧的冷量大，在氧熱交換器中冷卻的空氣量約為氧量的1.7倍。主熱交換器的熱負荷減小，返流低溫氣體復熱不足，使熱端溫差擴大，冷損增大；

2）采用內壓縮流程時，液氧泵消耗的功成為裝置的附加冷損失，而高壓氧氣是帶壓離開裝置，這部分節流效應制冷量沒有得到利用。為了平衡冷損，要求增大膨脹機的制冷量。這時，需要提高空壓機的操作壓力，一般需高于4.0MPa；

如果裝置需要同時生產醫用氧和工業氧，則應根據醫用氧的需要量，確定相應的液氧過冷器、液氧換熱器和液氧泵的大小。這時，冷損增加量較少，操作壓力也可降低。